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              半導體行業常用的真空計種類


              半導體行業中常見真空計有電阻真空計(皮拉尼真空計)、熱電偶真空計、電容真空計、電離子真空計、冷陰極電離真空計和全量程真空計等。其中冷陰極電離真空計又分為潘寧規、磁控管規和反磁控管規三種川。全量程真空計是低真空計和高真空計的組合;電阻真空計量程寬,比較常用;熱電倆真空計量程窄,結構簡一單,不易損壞;電容真空計測量值不受氣體種類的影響;電離真空計屬于高真空計,會發熱;冷陰極電離真空計屬于高真空計,不發熱,易維修;全量程真空計自動量程切換,使用方便。

              現在的大多數真空計探測頭和信號處理電路做在一起,這樣能提高抗干擾能力并且促進其小型化。大多數探測頭使用金屬材質而不是玻璃材質,這樣更結實小巧。真空計顯示控制器也要求小型化,有的做到了體積為105mmx110mmx250mm,質量為1.3kg,帶3個接頭,每個接頭可以接電阻真空計或冷陰極電離真空計等,這種智能型真空計控制器攜帶和使用都很方便。

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