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              超高真空機組的特點及分類
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              抽除有害氣體與無油清潔真空的獲得

              無油真空泵是現在各行業中發展的一種趨勢,雖然價格稍微高些但后期的回報是非?捎^的,上海飛魯真空泵廠生產的無油渦旋真空泵獲得了國家專利,真空度能達到8pa~10pa,是國家重點實驗室的最佳選擇。
              目前半導體、平板顯示、太陽能光伏電池以及化學工業的發展極為迅速,對真空獲得技術提出了新的十分苛刻的要求。
              要求抽除有害氣體,即有毒、易燃、易爆及腐蝕性氣體。在抽氣過程中,這些氣體會與泵油相混合,而導致泵油變質劣化。另外在工藝過程中,其化學反應所產生的生成物及顆粒副產品,也會給泵的正常工作帶來不利影響。所以要求真空行業提供能順利抽除有害氣體和顆粒的無油干式的真空系統。
              在半導體、平板顯示等領域,傳統的有油真空系統已經不允許使用,因為這種系統所產生的碳氫化合物會嚴重影響產品最終的性能質量,所以要求真空行業能提供可獲得清潔無油的真空產品。

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